高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體,；可用作系統(tǒng)清洗,、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積,、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用,。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來(lái)充填弧光燈,、熒光燈和電子管,；焊接保護(hù)氣；在鈦,、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣,；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。