高純氬在半導體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體,；可用作系統(tǒng)清洗,、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積,、濺射和退火等工藝中有所應用,。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈,、熒光燈和電子管,；焊接保護氣；在鈦,、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣,；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。