此外,,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的,。
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中是兩種微型壓力傳感器的膜片,圖中數(shù)字的單位為毫米。此外,,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的,。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ,,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋,。工作原理編輯壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式,。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出,。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用ZUI為普遍,。發(fā)展?fàn)顩r編輯1954年C.S.史密斯詳細(xì)研究了硅的壓阻效應(yīng),從此開始用硅制造壓力傳感器,。早期的硅壓力傳感器是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)式的,。后來在 N型硅片上定域擴(kuò)散P型雜質(zhì)形成電阻條,,并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化,。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴(kuò)散型壓力傳感器,。這兩種傳感器都同樣采用粘片結(jié)構(gòu),因而存在滯后和蠕變大,、固有頻率低、不適于動(dòng)態(tài)測量以及難于小型化和集成化,、精度不高等缺點(diǎn),。70年代以來制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴(kuò)散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結(jié)構(gòu)的固有缺陷,,而且能將電阻條,、補(bǔ)償電路和信號(hào)調(diào)整電路集成在一塊硅片上,甚至將微型處理器與傳感器集成在一起,,制成智能傳感器(見單片微型計(jì)算機(jī)),。這種新型傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動(dòng)態(tài)測量;②體積小(例如有的產(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米),,適于微型化,;③精度高,可達(dá)0.1~0.01%,;④靈敏高,比金屬應(yīng)變計(jì)高出很多倍,,有些應(yīng)用場合可不加放大器;⑤無活動(dòng)部件,,可靠性高,,能工作于振動(dòng)、沖擊,、腐蝕,、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán)境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大(有時(shí)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償),、工藝較復(fù)雜和造**等,。應(yīng)用編輯壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空,、航海,、石油化工、動(dòng)力機(jī)械,、生物醫(yī)學(xué)工程,、氣象、地質(zhì),、地震測量等各個(gè)領(lǐng)域,。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場的測量都要求很高的精度,。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,,測試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變,、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等
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供應(yīng)`SCAN`計(jì)數(shù)器SCM-31M SCM-41M SCM-51M SCM-61M SCB-42AM SCB-52AM
SCB-62AM SCB-43AM SCB-56M SCB-46M
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光電開關(guān)VL-L03MH-SX94U2,、M18B-L3000N-CX9C4U2、VL-R500N-SX94U2,、M18B-D0500N-CX9040