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| 所在地： | 廣東 深圳 |
| 有效期至： | 長期有效 |
| 發(fā)布時間： | 2023-12-15 10:11 |
| 最后更新： | 2023-12-15 10:11 |
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射頻電源維修RF Generator Comdel CX-3500S
射頻電源常見故障及維修：
故障現(xiàn)象1：打開電源,，電源指示燈不亮；
故障現(xiàn)象2：電源燈亮了,，預(yù)熱燈不亮,；
故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮,、輝光亮,，匹配器功率及反射功率,，電源的功率指示和電流指示不正常,。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）
故障現(xiàn)象4：電源燈亮了,，預(yù)熱燈亮,，輝光不亮:；
故障現(xiàn)象5：無功率輸出,；
故障現(xiàn)象6：有功率輸出,，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值,。
故障現(xiàn)象7：無反射功率,，或反射功率過大，射頻功率源壞
RF MATCH(射頻電源匹配)1,、ADVANCED ENERGY射頻電源匹配2,、ASTEX射頻電源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射頻電源匹配
4,、ASTECH射頻電源匹配5,、SEREN射頻電源匹配6、LAM射頻電源匹配7,、KYOSAN射頻電源匹配8,、ENI射頻電源匹配9、DAIHEN射頻電源匹配10,、AMAT射頻電源匹配11,、TRAZAR射頻電源匹配