全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)特點(diǎn)：

用于各尺寸硅晶片的腐蝕清洗,；

清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette,；   4 inch，2 cassette/ Batch,，25 Pcs/cassette；

工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放件,，取件,，槽體間傳送件。

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型,。

腐蝕工藝自動補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性,；

工藝參數(shù)（溫度，時間,，DIW水清洗模式,、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定；

機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域,，機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,，后下方為液路布置區(qū)域。

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)藥液供給及補(bǔ)液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)

DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置,；

全塑機(jī)體,，防腐耐溫。

干式加熱,，加熱器壽命2年

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)自動換位,，自動定時。

加熱/制冷+溢流+拋動,，以上功能保證腐蝕均勻,，無腐蝕不均現(xiàn)象。

石英晶片的腐蝕可以自動計(jì)算腐蝕時間,。

可以控制腐蝕液溫度和濃度,。

腐后噴淋清洗

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)參數(shù)：

外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm

加工版面：≤寬600mm(長度不限)

工作形式：連續(xù)進(jìn)料、雙面噴淋式

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)過濾形式：供液過濾+下料過濾

加熱系統(tǒng)：鈦合金防腐加熱

工作溫度：-10-50度（自動恒溫）

蝕刻速度：無級調(diào)速

功 率：3.5kw/380V

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)控制系統(tǒng)：蝕刻開關(guān),、單雙面蝕刻控制開關(guān),、自動溫控、水平輪片傳送（無級調(diào)速）

溫度范圍：室溫+5℃～55℃

溫度均勻度：≤2℃

溫度波動度：≤±0.5℃

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)鹽霧沉降量：1~2ml/h.80cm2

噴霧方式：連續(xù),、間隙噴霧任意選擇

試驗(yàn)定時 ：1～999（S,、M、H）可調(diào)

注：該機(jī)可按具體需求,，針對性設(shè)計(jì),；

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機(jī)說明：

通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運(yùn)動形成連續(xù)不間斷進(jìn)料狀態(tài)進(jìn)行對工件腐蝕以提高生產(chǎn)效率；

加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度,，無論在蝕刻效果,、速度和改善操作者的環(huán)境及方便程度,，都優(yōu)于潑濺式蝕刻,；