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所在地: | 湖北 武漢 |
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發(fā)布時(shí)間: | 2023-12-18 03:06 |
最后更新: | 2023-12-18 03:06 |
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應(yīng)用
六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),,常見(jiàn)于半導(dǎo)體之生產(chǎn),。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅,。
六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。