單晶硅壓力/差壓變送器用于測(cè)量液體,、氣體或蒸汽的液位,、密度、壓力,，將其轉(zhuǎn)變成4-20mAHART電流信號(hào)輸出,，也可與HART375或BST Modem相互通信，通過(guò)他們進(jìn)行參數(shù)設(shè)定,、過(guò)程控制

工作原理

單晶硅壓力/差壓變送器的傳感器模塊采用全焊接技術(shù),，內(nèi)部擁有一個(gè)整體化的過(guò)載膜片，一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器,。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連,，傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過(guò)隔離膜片和填充液,，傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片,，使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化，從而導(dǎo)致檢測(cè)系統(tǒng)輸出電壓變化,。該輸出電壓與壓力變化成正比,，再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)輸出。

壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成,。采用單晶硅片為彈性元件,，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi),，當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化,，再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào),。

故障排查

1、檢查敏感部件隔離膜片有無(wú)變形,，破損和漏油現(xiàn)象發(fā)生,。

2,、拆下補(bǔ)償板,，不取出敏感部件,，檢查插針對(duì)殼體的絕緣電阻，在電壓不超過(guò)100V的情況下,，絕緣電阻不應(yīng)小于100MΩ,。

3、接通電路和氣路,，當(dāng)壓力信號(hào)為量程上限值時(shí),，關(guān)閉氣源，輸出電壓和讀數(shù)值應(yīng)穩(wěn)定不動(dòng),。如果輸出電壓下降,，則說(shuō)明變送器有泄漏，可用肥皂水檢查出泄漏部位,。

電路部分的檢查

4,、接通電源，檢查變送器輸出端電壓信號(hào)的狀態(tài),。若無(wú)輸出電壓,，應(yīng)檢查電源電壓是否正常;是否符合供電要求;電源與變送器及負(fù)載設(shè)備之間有無(wú)接線錯(cuò)誤,。如果變送器接線端子上無(wú)電壓或極性接反均可造成變送器無(wú)電壓信號(hào)輸出。

5,、檢查放大器板線路中元件有無(wú)損壞問(wèn)題;線路板接插件有無(wú)接觸不良現(xiàn)象,，可采取對(duì)照正常儀表的測(cè)量電壓與故障儀表對(duì)應(yīng)的測(cè)量電壓相比較的方法，確定故障點(diǎn),，必要的情況下可更換有故障的放大器板,。

6、在對(duì)流量型變送器檢查時(shí),，對(duì)J型放大器板應(yīng)特別要注意采取防靜電措施,。單晶硅壓力變送器

7、接通電源,，在給定輸入壓力信號(hào)后,，若變送器輸出過(guò)高(大于10VDC)，或輸出過(guò)低(小于2.0VDC),，且改變輸入壓力信號(hào)和調(diào)整零點(diǎn),、量程螺釘時(shí)輸出均無(wú)反應(yīng)。對(duì)于這類故障,，除檢查變送器測(cè)量部分敏感部件有無(wú)異常外,，應(yīng)檢查變送器放大器板上"振蕩控制電路部分"工作正常與否。高頻變壓器T1-12之間正常峰值電壓應(yīng)為25~35VP-P;頻率約為32kHz,。檢查放大器板上各運(yùn)算放大器的工作狀況;各部分的元器件有無(wú)損壞問(wèn)題等,。此類故障需要更換放大器板。