產(chǎn)品功能：

 清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出,。

           如：去除有機污染物,，去除納米級微粒,，去除氧化層,。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,，會在表面形成氧原子團,，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,，能使涂料和粘接劑更好的附著于上,，提高其的粘合力和附著力。

           如：PDMS鍵合,，粘接前的預(yù)處理,，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理,。

蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到濺射,，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出,，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀,。

            如：硅蝕刻,，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除,。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng),，形成聚合物層,。

           如：疏水層,，親水層，保護/阻隔層,，干潤滑層,，疏油層。

具體應(yīng)用： 去除部件封裝（半導(dǎo)體）