廣東X-射線光電子能譜檢測(cè)材料表面成分

表面分析實(shí)驗(yàn)室配備有世界先進(jìn)水平的表面分析儀器,，可為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、半導(dǎo)體,，光電子器件,、納米科技等高科技企業(yè)提供綜合性的表面分析服務(wù),，以滿足其亞微米級(jí)分辨率,、痕量表面靈敏度、微區(qū)樣品加工和薄膜分析的要求,。

分析技術(shù)手段

俄歇納米探針系統(tǒng)

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀

X-射線光電子能譜儀

納米壓痕儀

掃描電子顯微鏡

超級(jí)掃描電子顯微鏡

能量色散譜儀

透射電子顯微鏡

原子力顯微鏡

聚焦離子束

精細(xì)研磨設(shè)備

服務(wù)范圍

材料表征和表面成份分析, 納米級(jí)到微米級(jí)

界面擴(kuò)散分析

表面腐蝕分析

表面攙雜改性分析

失效分析

表面形貌分析

薄膜分析

表面污染物分析

鍍層厚度和成份分析

檢測(cè)材料表面成分的方法

檢測(cè)材料表面成分是材料科學(xué)領(lǐng)域的一個(gè)重要分支,，它涉及到一系列精密的分析技術(shù)，用于確定材料表面的元素組成,、化學(xué)狀態(tài)以及分子結(jié)構(gòu),。以下是幾種常用的檢測(cè)方法：

X射線能量色散譜法（EDX）

X射線能量色散譜法（EDX）是一種常與電子顯微鏡配合使用的分析方法，它可以測(cè)量電子與試樣相互作用所產(chǎn)生的特征X射線的波長(zhǎng)與強(qiáng)度,，從而對(duì)微小區(qū)域所含元素進(jìn)行定性或定量分析,。每種元素都有一個(gè)特定波長(zhǎng)的特征X射線與之相對(duì)應(yīng)，它不隨入射電子的能量而變化,，測(cè)量電子激發(fā)試樣所產(chǎn)生的特征X射線波長(zhǎng)的種類,，即可確定試樣中所存在元素的種類。元素的含量與該元素產(chǎn)生的特征X射線強(qiáng)度成正比,，據(jù)此可以測(cè)定元素的含量,。

電子能譜分析法

電子能譜分析法是采用單色光源或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發(fā)而發(fā)射出來(lái),，然后測(cè)量這些電子的強(qiáng)度與能量的分布,，從而獲得材料信息。電子能譜的采樣深度僅為幾納米,，所以它僅僅是表面成分的反應(yīng),。

X射線衍射法（XRD）

X射線衍射法（XRD）也可以輔助用來(lái)進(jìn)行物相的定量分析。它的依據(jù)是,，物相的衍射線強(qiáng)度隨著含量的增加而提高,。但是并不成正比,，需要加以修正，采用Jade程序就可以對(duì)物相進(jìn)行定量分析,。

質(zhì)譜法（MS）

質(zhì)譜法（MS）是將被測(cè)物質(zhì)離子化,，按離子的質(zhì)荷比分離，測(cè)量各種離子譜峰的強(qiáng)度而實(shí)現(xiàn)分析目的的一種分析方法,。質(zhì)量是物質(zhì)的固有特征之一,，不同的物質(zhì)有不同的質(zhì)量譜（簡(jiǎn)稱質(zhì)譜），利用這一性質(zhì),，可以進(jìn)行定性分析,；譜峰強(qiáng)度也與它代表的化合物含量有關(guān)，可以用于定量分析,。

分光光度計(jì)法

分光光度計(jì)法采用一個(gè)可以產(chǎn)生多個(gè)波長(zhǎng)的光源,，通過(guò)系列分光裝置，從而產(chǎn)生特定波長(zhǎng)的光源,，光線透過(guò)測(cè)試的樣品后,，部分光線被吸收，計(jì)算樣品的吸光值,，從而轉(zhuǎn)化成樣品的濃度,，吸光值與樣品的濃度成正比。它包括可見(jiàn)分光光度計(jì)和紫外分光光度計(jì),。

火花直讀光譜儀

火花直讀光譜儀用電火花的高溫使樣品中各元素從固態(tài)直接氣化并被激發(fā)而發(fā)射出各元素的特征波長(zhǎng),，用光柵分光后，成為按波長(zhǎng)排列的光譜,，這些元素的特征光譜線通過(guò)出射狹縫,，射入各自的光電倍增管，光信號(hào)變成電信號(hào),，經(jīng)儀器的控制測(cè)量系統(tǒng)將電信號(hào)積分并進(jìn)行模/數(shù)轉(zhuǎn)換,，然后由計(jì)算機(jī)處理，并打印出各元素的百分含量,。

掃描電子顯微鏡（SEM）

掃描電子顯微鏡（SEM）通過(guò)電子束掃描樣品表面,，獲取高分辨率圖像并進(jìn)行元素分析。它適用于材料表面特性分析,、缺陷分析,、微觀結(jié)構(gòu)研究等。

透射電子顯微鏡（TEM）

透射電子顯微鏡（TEM）通過(guò)透射電子束對(duì)薄樣品進(jìn)行成像,，分析其微觀結(jié)構(gòu),。它適用于納米材料研究、晶體結(jié)構(gòu)分析等。