智能碳化硅清洗設(shè)備生產(chǎn)線為： 晶舟上貨,，將晶舟置于上貨區(qū)位置，按下啟動鍵,，將自動以夾持方式移至制程槽進(jìn)行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程,，達(dá)成一貫性自動控制的功能。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件,，性能可靠,，使用壽命長,；及背部設(shè)有吸風(fēng)口,，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng),。本機(jī)臺是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動控制系統(tǒng),。

智能碳化硅清洗設(shè)備特點：

溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度,；

優(yōu)化配管設(shè)置,，節(jié)約DIW消耗量；

工藝柔性化設(shè)計,，工藝更改方便迅速,；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲,；

整機(jī)在使用,、運行過程中平穩(wěn)、可靠,、不產(chǎn)塵,、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理,；

智能碳化硅清洗設(shè)備PLC控制,，IPC顯示，清洗槽定溫控制,，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù),；

全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作,、維護(hù)和維修方便,；

耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用,；

設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕,，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器,；

智能碳化硅清洗設(shè)備前后區(qū)隔離,，底板傾斜設(shè)計,，便于排液，低處設(shè)有漏液報警,，前后區(qū)域均設(shè)水槍,，確保漏液及時沖洗；

清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計,，防止溶劑混用,；

設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使有機(jī)液揮發(fā)氣體的污染小化,；

內(nèi)部輸水,、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

廢水按照高氟,、低氟,、酸堿、酸堿含醇四類排放,；

智能碳化硅清洗設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗,，清洗廢液流入有機(jī)、酸堿廢液總管,；

工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn),，至少需要三面溢流,；

后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù),、維修的窗口,；

機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

智能碳化硅清洗設(shè)備總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）,；

工藝槽槽體傾斜式,，便于排空；

電器部分具備正壓N2保護(hù),，防止腐蝕,；

溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止,，達(dá)到節(jié)能目的,；

智能碳化硅清洗設(shè)備廢液排放，每個工藝槽采用獨立排放管道,，對應(yīng)QDR也采用獨立排放口,；

排風(fēng)，工藝腔內(nèi)每個工藝槽對應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu),；

換液提醒功能,，所有制程能根據(jù)配液時間或運行批次數(shù)量通知換酸,；

工藝結(jié)束可以設(shè)置預(yù)先報警功能，預(yù)報警聲音和實際報警聲音要有所區(qū)分,；

智能碳化硅清洗設(shè)備工藝說明: 自動傳動,，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè),，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè),，這個過程全自動進(jìn)行；

全程自動化控制,，工藝過程中沒有人工干預(yù),，保證產(chǎn)品性能的一致性；

機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá),，閉環(huán)控制,，定位精度≤1mm,，可靠性高,；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動,，沖擊小,、運動平穩(wěn)；

智能碳化硅清洗設(shè)備機(jī)械手臂單獨急停,、暫停開關(guān),、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全,；

機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器,、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等）,，以保護(hù)操作人員安全,；

上下料方向：左進(jìn)右出，花籃水平放置,；

顆粒指標(biāo),，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個/cm2,；

智能碳化硅清洗設(shè)備目前金屬離子殘留測試,，包括XX種元素：每一種金屬元素殘留指標(biāo)均要求-2。