全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)為半導(dǎo)體襯底片清洗而設(shè)計(jì)的超聲波清洗設(shè)備,。整個(gè)工藝流程使用PLC編程控制，可根據(jù)清洗工藝要求,，靈活設(shè)置動(dòng)作參數(shù),。采用全自動(dòng)化運(yùn)行過程，清洗效果好,，溶劑保持潔凈時(shí)間長,，實(shí)現(xiàn)清洗流程的自動(dòng)化作業(yè)，降低操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度,，提高設(shè)備的生產(chǎn)能力和清洗效果,。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置。

清洗液**加熱溫度可達(dá)80度,。

設(shè)有快速排放功能,，排放次數(shù)可設(shè)置。

可清洗多種和尺寸的晶片（2寸,、4寸等）.

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)槽內(nèi)傳輸有手動(dòng),、自動(dòng)方式可選。

超聲波頻率可選配多種頻率,，也可選配兆聲清洗功能,。

帶有循環(huán)過濾、氮?dú)夤呐?、噴淋等功?/p>

自動(dòng)蓋結(jié)構(gòu)可降低溶解揮發(fā)及對人體的傷害

具有故障提示,，報(bào)警等功能。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)各部分功能：

清洗槽：工件在清洗槽進(jìn)行清洗,，可將工件表面及縫隙中的油污,、粉塵、指紋、汗?jié)n等離子型污垢震落,；

漂洗槽：工件放入清洗槽后純水進(jìn)行漂洗,；

IPA槽：把殘留在工件上的水經(jīng)IPA脫除；

進(jìn)排液管路裝置：用于進(jìn)水與排放洗劑,；

過濾系統(tǒng)：從儲(chǔ)液槽中泵抽取經(jīng)過濾器過濾后,，使清潔的溶液重新流回至清洗槽內(nèi)；

電器控制面板：控制整機(jī)的電氣部分,，集中控制清洗機(jī)的各項(xiàng)功能,，保證整機(jī)功能的實(shí)現(xiàn)。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)工藝流程和配置：

     由不銹鋼材質(zhì)制作的超音波溶劑,、水劑清洗槽,，市水漂洗槽、純水漂洗槽,、IPA清洗槽,、IPA干燥槽等組成的一條連續(xù)工作的由清洗到干燥的裝置。操作者將裝有工件的清洗籃依次送往各清洗工位,，對工件進(jìn)行清洗,、升降干燥，完成清洗,、干燥的工作循環(huán),。

上下料裝置：

上料方式：以人工將洗籃放置在上料位，裝好工件,，上料位有感應(yīng)器控制定位,。

下料方式：單臂機(jī)械手將洗籃放在下料位,下料位有感應(yīng)器提醒人取籃。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)機(jī)械臂部分：

1,、機(jī)械臂結(jié)構(gòu)組成

單臂型機(jī)械臂由機(jī)架,、機(jī)械臂傳動(dòng)系統(tǒng)、吊臂,、電氣控制裝置等組成,。

2、機(jī)械臂基本結(jié)構(gòu)及工作原理

機(jī)架：全不銹鋼制作的支撐架結(jié)構(gòu),，焊接在設(shè)備底盤上,，以保證機(jī)械強(qiáng)度及機(jī)械臂的穩(wěn)定性。頂部安裝有水平橫移導(dǎo)軌,。

橫移傳動(dòng)系統(tǒng)：采用步進(jìn)電機(jī)配合同步輪和同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)傳動(dòng),。PLC程序控制動(dòng)作。保證橫移動(dòng)作的相對精度和穩(wěn)定性,。

提升傳動(dòng)機(jī)構(gòu)：采用步進(jìn)電機(jī)配合鏈輪鏈條傳動(dòng),，直線導(dǎo)軌制作的支撐結(jié)構(gòu),，PLC程序控動(dòng)作。保證升降動(dòng)作的平穩(wěn)可靠,。

不銹鋼吊臂：設(shè)有不銹鋼吊臂,，四掛鉤定位設(shè)計(jì)。主吊臂采用螺栓固定在機(jī)械臂安裝座上,。全不銹鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),。

電氣控制裝置：采用日本松下可編程序控制器控制機(jī)械臂動(dòng)作。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)特點(diǎn)：

自主研發(fā)的超聲波發(fā)生器,、超聲波換能器,，超聲強(qiáng)勁均勻，機(jī)械Q值高,、性能穩(wěn)定,，使用壽命長。

PLC控制系統(tǒng)：進(jìn)排水,、清洗溫度,、清洗時(shí)間、烘干時(shí)間,、過濾循環(huán)時(shí)間,、超聲波功率等所有參數(shù)在人機(jī)界面設(shè)置運(yùn)行。

過濾循環(huán)系統(tǒng)：過濾精度1-50um可選,，過濾掉清洗液中的顆粒沉淀物,、懸浮物、漂浮物等,，提高清洗劑利用率，節(jié)省清洗成本,。

內(nèi)槽材質(zhì)采用304不銹鋼,，耐酸堿，抗腐蝕能力強(qiáng),。

使用優(yōu)質(zhì)不銹鋼包裹,，采用1.0mm厚電解板噴粉及亞加力板活動(dòng)門和透明觀察窗。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)清洗槽內(nèi)投入籃,、搬出籃及槽間移動(dòng)籃的全部過程都由機(jī)械手自動(dòng)完成,。

清洗籃：骨架采用圓枝結(jié)構(gòu)，四周和底板采用不銹鋼孔板焊接,，承重能力強(qiáng),。

根據(jù)工藝要求，可選配各種頻率段的超聲波系統(tǒng),。

智能型多臂式機(jī)械手,，定位,，運(yùn)行穩(wěn)定。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制,，可根據(jù)生產(chǎn)需要監(jiān)控及調(diào)整工藝參數(shù),。

上下雙邊拋動(dòng)系統(tǒng)，清洗面均勻,，效果更佳,。

氣動(dòng)式進(jìn)出料輸送系統(tǒng)，有效杜絕二次污染,。

FFU高效過濾系統(tǒng),，確保工作內(nèi)環(huán)境的潔凈度。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)獨(dú)特的溢流裝置及熱交換器,，節(jié)能減排,。

自動(dòng)化程度高，適宜于連續(xù)大批量生產(chǎn),，清洗品質(zhì)穩(wěn)定,。

清洗采用刷洗配合高壓進(jìn)行清洗，可以有效的清洗各種污漬,、指紋和汗?jié)n等雜質(zhì),。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)輸送采用滾輪輸送，機(jī)內(nèi)配有導(dǎo)向機(jī)構(gòu),，可以有效的防止玻璃跑偏,。

臺灣式風(fēng)刀，切水干凈徹底,。保證不留有水分,。

水循環(huán)系統(tǒng)采用逐級溢流方式，可以有效節(jié)約用水,。

設(shè)計(jì)符合國際,、國內(nèi)通行安全防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備具有完善的防護(hù)裝置,。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)各種防護(hù)門,、窗均有連鎖保護(hù)開關(guān)。運(yùn)動(dòng)部件和油,、氣,、液、電線,、電纜等單元進(jìn)行單獨(dú)防護(hù),。設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)噪聲≤85dB（按檢測）。

配置的壓力容器和蓄能裝置均附有檢定證書和技術(shù)說明,。

均設(shè)有急停開關(guān),，安裝在便于緊急操作的位置,，顏色為紅色。

配備安全操作指導(dǎo)書,，危險(xiǎn)部位均進(jìn)行文字和危險(xiǎn)圖形標(biāo)識,。

全自動(dòng)藍(lán)寶石襯底片超聲波清洗機(jī)運(yùn)輸與安裝：

搬運(yùn)方法：搬運(yùn)時(shí)應(yīng)平起平落，垂直方向傾斜度不得超過30°,，不能碰撞機(jī)器,。

安裝位置：機(jī)器應(yīng)安裝在通風(fēng)干燥的地方，其環(huán)境溫度,、濕度不應(yīng)過高,，機(jī)體應(yīng)平穩(wěn)位置，距離墻應(yīng)有適當(dāng)距離（建議大于1m）,，以便機(jī)器的通風(fēng)散熱及維護(hù)方便,。