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1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,，也用作激光 氣體,，用于低溫制冷劑、溶劑,、潤滑劑,、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑,。

2.是微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體,，四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅,、氮化硅,、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗,、太陽能電池生產(chǎn),、激光技術(shù)、低溫制冷,、泄漏檢驗(yàn),、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù) ,。

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