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江蘇四氟化碳純度鑒定

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所在地: 湖北 武漢
有效期至: 長期有效
發(fā)布時間: 2023-12-20 05:25
最后更新: 2023-12-20 05:25
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用途編輯 語音

1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,,也用作激光 氣體,,用于低溫制冷劑、溶劑,、潤滑劑,、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑,。

2.是微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體,,四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,,可廣泛應用于硅,、二氧化硅、氮化硅,、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產(chǎn),、激光技術,、低溫制冷、泄漏檢驗,、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用,。

3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術 。

 


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